最後更新:2026年10月23日混合鍵合設備

LITHOBOLT G2的特點與規格

ASMPT・混合鍵合設備

晶粒對晶圓(D2W)混合鍵合設備。同時對應單機架構與串接架構。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

LITHOBOLT G2 是 ASMPT 的晶粒對晶圓(D2W)混合鍵合設備。同時對應將晶片 1 顆 1 顆直接接合到晶圓上的直接式 D2W(Direct D2W),以及將晶片一起接合的集體式 D2W(Collective D2W)兩種製程。

廠商表示,設備可採單機或串接(多台連結)架構,能提高運轉效率。ASMPT 說明這是以超高精度控制兼顧接合品質與生產力的設備。

混合鍵合是不使用焊料凸塊、直接接合銅電極與絕緣膜的方式,可實現比熱壓接合(TCB)更窄間距的連接。ASMPT 也推出 TCB 設備 FIREBIRD TCB,LITHOBOLT 則定位為承擔下一世代接合技術的設備。

主要規格

接合方式晶粒對晶圓(D2W)混合鍵合
製程直接式 D2W・集體式 D2W
組成單機/串接(cascade)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

同時對應直接式 D2W 與集體式 D2W 兩種製程
單機・串接的彈性架構
超高精度的位置控制

主要用途

  • 小晶片・3D 堆疊的混合鍵合
  • 針對 HPC・AI 的先進封裝

製造商

ASMPT(總部:新加坡)

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資料來源

  1. ASMPT 官方產品頁面:ASMPT Hybrid Bonding