ELS-BODEN 系列是 Elionix 的電子束直寫設備。具備自動傳送功能，已導入許多大學與研究機構。以電子束直接描繪圖形，因此無需製作光罩即可形成數 nm～數十 nm 的微細圖形。
根據研究機構的公開資訊，ELS-BODEN-OU4801 的加速電壓為 150kV、最小電子束直徑 φ1.5nm、最小描繪線寬 4nm、電子束電流可調範圍 5pA～100nA，描繪場為 □100／250／500µm。
ELS-BODEN100 的加速電壓為 100kV、電子束電流 100pA～20nA、最小點距 0.2nm、最小曝射時間 10ns/dot、場拼接精度 30nm 以下、疊對精度 35nm 以下，可處理最大約 8 吋的試料。依組成可涵蓋從高精細描繪到大電流的高速描繪。