ELS-BODEN シリーズ

加速電圧・チャンバー・搬送・除振台をモジュールで組み合わせるエリオニクスの電子ビーム描画装置。高速スキャンの ELS-BODEN Σ もある。

ELS-BODEN シリーズとは

ELS-BODEN シリーズは、エリオニクスの電子ビーム描画装置です。自動搬送機能を備え、多くの大学や研究機関に導入されています。電子ビームで直接パターンを描くため、マスクを作らずに数 nm〜数十 nm の微細パターンを形成できます。

研究機関の公開情報によると、ELS-BODEN-OU4801 は加速電圧 150kV、最小電子ビーム径 φ1.5nm、最小描画線幅 4nm、ビーム電流可変域 5pA〜100nA、描画フィールドは □100／250／500µm です。

ELS-BODEN100 は加速電圧 100kV、ビーム電流 100pA〜20nA、最小ドットピッチ 0.2nm、最小ショットタイム 10ns/dot、フィールドつなぎ精度 30nm 以下、重ね合わせ精度 35nm 以下で、最大約 8 インチの試料を扱えます。構成によって高精細描画から大電流の高速描画までをカバーします。

主な特長

•加速電圧 100〜150kV（機種による）
•最小描画線幅 4nm（OU4801 の公開値）
•自動搬送機能
•最大約 8 インチの試料（BODEN100）

主な仕様

ビーム方式	スポットビーム（モジュール構成）
加速電圧	50 ～ 150 kV
描画範囲	構成により選択
主要用途	高精細描画から大電流高速描画まで

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	日本電子（JEOL）JBX-8100FS	エリオニクスELS-BODEN シリーズ
ビーム方式	スポットビーム	スポットビーム（モジュール構成）
加速電圧	最大 100 kV（G3 は 200 kV）	50 ～ 150 kV
描画範囲	150 × 150 mm・最大走査速度 125 MHz	構成により選択
主要用途	超微細加工から中小規模生産まで	高精細描画から大電流高速描画まで