JBX-8100FS 是日本電子（JEOL）的點束型電子束直寫設備。以電子束直接描繪圖形，因此不使用光罩即可製作奈米級微細結構。描繪方式為點束、向量掃描（vector scan）與步進重複（step & repeat）。
加速電壓在 G1・G2 機型為 100kV，G3 機型可從 200kV／130kV／100kV／50kV 中選擇。支援最大掃描速度 125MHz 的高速描繪，以及高解析度模式・高速模式的切換，疊對精度 G1／G2 為 ±9nm 以下，G3 為 ±8nm 以下。
可處理最大 200mm 晶圓、6 吋光罩與任意小片試料。寬 4.9m×深 3.7m×高 2.6m 的精巧設計，耗電量壓低至約 3kVA。用於奈米結構製作、化合物半導體元件製造，以及厚膜光阻的 3D 加工。