ANFEZとは
ANFEZ は、H-Square の卓上型 自動ノッチアライナーです。150mm と 200mm のウェーハに対応し、カセットに入ったウェーハのノッチ（向きを示す切り欠き）の位置を一括でそろえます。
EZ Guide アライナーで、ウェーハのノッチを ±1° の精度で一括アライメントします。16 ポジションのノッチ位置スイッチで、業界標準の最終ノッチ位置に合わせられます。処理能力は毎時 100 カセットです。
ESD 対策の制御を備え、静電気散逸性の材料でウェーハとカセットの両方を接地します。クイックディスコネクトのローラー組立で保守と清掃が簡単で、ISO クラス 3 の清浄度に合わせて設計されています。寸法は 7×11×7 インチ、重さは 3 ポンドとコンパクトです。
主な特長
- •ノッチを ±1° で一括アライメント
- •16 ポジションのノッチ位置スイッチ
- •毎時 100 カセット
- •ESD 対策・ISO クラス 3 対応
主な仕様
| 方式 | カセット一括（自動） |
|---|---|
| 位置合わせ対象 | ノッチ（16 ポジション切替） |
| 精度 | ±1° |
| 主要用途 | ロット管理・ID 読み取り前の位置合わせ |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | H-SquareANFEZ（自動ノッチアライナー） | H-SquareAFEZ（自動フラットアライナー） | ハーモテック非接触ウェーハアライナー |
|---|---|---|---|
| 方式 | カセット一括（自動） | カセット一括（自動） | 非接触保持 |
| 主要用途 | ロット管理・ID 読み取り前の位置合わせ | ウェーハのフラット位置合わせ | 極薄・反りウェーハのアライメント |
| 位置合わせ対象 | ノッチ（16 ポジション切替） | オリエンテーションフラット | — |
| 精度 | ±1° | ±1° | — |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •150／200mm ウェーハのノッチ位置合わせ
掲載カテゴリ
ANFEZは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
H-Square
米国のウェハハンドリング機器メーカー。ノッチアライナー・フラットアライナー・バルクアライナーのほか、ウェハ移載機、真空ピンセット、カセットなどを供給する。
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06