電漿製程監測器 C10346-01的特點與規格

C10346-01 是濱松光子（Hamamatsu Photonics）的電漿製程監控器，為以寬波段即時偵測製程中電漿發光的光譜量測系統。

量測波長為 200～950nm，波長解析度 2nm 以下（FWHM），波長精度 ±0.75nm。具備各種分析功能，可透過 TTL 訊號輸出最多 5 個通道的判定結果。介面為 USB 2.0。

用於蝕刻或清潔的終點判定、藉推估電漿中化學物種進行狀態監控，以及偵測雜質混入或異常放電。對象製程為蝕刻、濺鍍、CVD 等。