プラズマプロセスモニタ C10346-01とは
C10346-01 は、浜松ホトニクスのプラズマプロセスモニターです。プロセス中のプラズマの発光を、広い波長帯でリアルタイムに検出する分光計測システムです。
測定波長は 200〜950nm、波長分解能は 2nm 以下（FWHM）、波長精度は ±0.75nm です。各種の解析機能を持ち、TTL 信号で最大 5 チャンネルの判定出力を出せます。インターフェースは USB 2.0 です。
エッチングやクリーニングの終点判定、プラズマ中の化学種の推定による状態監視、不純物の混入や異常放電の検出に使われます。対象プロセスはエッチング、スパッタリング、CVD などです。
主な特長
- •200〜950nm のプラズマ発光をリアルタイム検出
- •波長分解能 2nm 以下
- •TTL 判定出力 最大 5 チャンネル
主な仕様
| 測定方式 | プラズマ発光分光 |
|---|---|
| 監視項目 | 終点判定・プラズマ種推定・不純物／異常放電 |
| 主要用途 | エッチング・クリーニングの終点検出 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 浜松ホトニクスプラズマプロセスモニタ C10346-01 | 大塚電子膜厚モニター FE-300F |
|---|---|---|
| 測定方式 | プラズマ発光分光 | 分光干渉（紫外域の反射率測定） |
| 監視項目 | 終点判定・プラズマ種推定・不純物／異常放電 | 膜厚 10 nm ～ 1.5 mm（最短 0.1 秒） |
| 主要用途 | エッチング・クリーニングの終点検出 | 薄膜・厚膜の膜厚管理 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •エッチング・クリーニングの終点判定
- •プラズマの状態監視・異常放電の検出
掲載カテゴリ
プラズマプロセスモニタ C10346-01は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
浜松ホトニクス
光電子増倍管・フォトダイオード・イメージセンサーを手掛ける光半導体の世界的大手メーカー。半導体検査装置・医療機器・科学計測など幅広い分野に光デバイスを供給する。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06