PlasmaSuite 是科磊（KLA）的電漿資料分析系統，使用以 EtchTemp 或 EtchTemp-SE 收集的資料。
PlasmaView 是可直覺檢視電漿蝕刻製程分析的顯示系統，能以時間與空間（2D・3D）呈現製程資料。以動態影像顯示將重要的暫態響應視覺化，可用於異常調查。
PlasmaControl 是監控與管理日常運轉及腔體間匹配的分析引擎。將複雜的電漿蝕刻製程歸納為數個重要成分並與管理規格比對，對每次處理給出「Go」或「No Go」的判定。可用於確認趨勢、檢出與調查異常，以及比較腔體。