CRITERION D500 是 HORIBA STEC 的壓力式質量流量模組。偵測層流區的差壓以量測流量，並以壓電驅動的金屬隔膜閥進行控制。
即使供應壓力變動，流量也不易受影響，1 台即可支援多種氣體・量程・壓力。控制範圍為 0.2～100% F.S.，響應低於 0.8 秒，採全金屬結構。
具備名為 G-LIFE 的自我診斷功能，用於先進半導體製程的氣體流量控制。
CRITERION D500的特點與規格
堀場製作所（HORIBA）・質量流量控制器（MFC）
HORIBA STEC 以層流區差壓偵測方式量測流量的壓力式質量流量控制模組。使用壓電驅動的金屬隔膜閥。
產品概要
主要規格
| 量測方式 | 壓力式（層流區差壓偵測） |
|---|---|
| 精度・響應 | ±1% S.P.・響應 0.8 秒 |
| 特點 | PI 功能・多氣體／多量程・自我診斷 |
| 主要用途 | 先進製程的氣體流量控制 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
壓力式（層流區差壓偵測）
控制範圍 0.2～100% F.S.・響應低於 0.8 秒
多氣體・多量程
G-LIFE 自我診斷
主要用途
- 先進製程的氣體流量控制
製造商
堀場製作所（HORIBA）（總部：日本）