氣體箱（氣體面板、供氣系統）是將MFC、閥件、調壓器、過濾器與壓力計集中於1個機殼內，以規定的流量、壓力與混合比將多種製程氣體供應至腔體的子系統。並非由設備廠商自行採購個別零件組裝，而是由專業廠商以模組形式完成設計、製作乃至洩漏測試後交貨，此模式已成為常態。
設計要點為：①死體積（滯留容積）最小化；②吹淨性能；③抑制金屬污染與微粒。切換氣體時若殘留前一種氣體，在ALD這類前驅物分離至關重要的製程中，膜質就會崩壞。因此採用縮短流路長度的整合式模組（表面黏著方式），減少接頭以同時削減洩漏點與死體積的設計已成為主流。
材質以SUS316L電解研磨（EP）管為標準，將內面粗糙度加工至Ra 0.2μm以下，以抑制吸附水分的釋出與微粒產生。由於處理腐蝕性氣體（Cl₂、HBr、WF₆等）與自燃性氣體（SiH₄），雙套管化、設置於排氣風管內、與氣體偵測器連動等安全設計，會配合法規要求一併納入。
在運用面上，氣體管路的吹淨步驟與洩漏檢查是品質的基礎。設備啟用時以He洩漏偵測器確認氣密，並持續以N₂吹淨，直到水分與氧濃度降至規定值以下。為防止氣體切換時的交叉污染，閥的動作順序（VMB的操作順序）也有嚴格定義。
供應端由Fujikin、CKD、KITZ SCT、Ultra Clean Holdings、MKS Instruments等廠商負責，是設備廠商外包比例很高的領域。每1台設備搭載多個氣體箱，因此市場隨設備需求連動。