CRITERION D500とは
CRITERION D500 は、堀場エステックの圧力式マスフローモジュールです。層流域の差圧を検出して流量を測り、ピエゾ駆動のメタルダイアフラム弁で制御します。
供給圧力が変動しても流量が影響を受けにくく、1 台で複数のガス種・レンジ・圧力に対応します。制御範囲は 0.2〜100% F.S.、応答は 0.8 秒未満で、オールメタル構造です。
G-LIFE という自己診断機能を持ち、先端の半導体製造プロセスでのガス流量制御に使われます。
主な特長
- •圧力式（層流域差圧検出）
- •制御範囲 0.2〜100% F.S.・応答 0.8 秒未満
- •マルチガス・マルチレンジ
- •G-LIFE 自己診断
主な仕様
| 測定方式 | 圧力式（層流域差圧検出） |
|---|---|
| 精度・応答 | ±1% S.P.・応答 0.8 秒 |
| 特徴 | PI 機能・マルチガス／マルチレンジ・自己診断 |
| 主要用途 | 先端プロセスのガス流量制御 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 堀場製作所CRITERION D500 | MKS InstrumentsGE50A | フジキン（Fujikin）FCS®-P8500 |
|---|---|---|---|
| 測定方式 | 圧力式（層流域差圧検出） | 熱式 | 圧力式（オリフィス音速条件） |
| 精度・応答 | ±1% S.P.・応答 0.8 秒 | ±1% of S.P.・応答約 500 ms | 応答 0.5 秒以下 |
| 特徴 | PI 機能・マルチガス／マルチレンジ・自己診断 | RS485／EtherCAT／DeviceNet など選択可 | 供給圧変動の影響を受けない・ガス種を選ばない |
| 主要用途 | 先端プロセスのガス流量制御 | 半導体・電子部品製造のガス流量制御 | 成膜・エッチングのガス供給 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •先端プロセスのガス流量制御
掲載カテゴリ
CRITERION D500は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
堀場製作所
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07