質量流量控制器（MFC）是一邊量測製程氣體的質量流量、一邊依設定值自動控制的流量控制設備。蝕刻、CVD、ALD、擴散、離子佈植等所有使用氣體的製程都會用到，是將配方上「sccm」數值轉換為物理現象、站在製程控制最前線的零件。
內部由流量感測器、控制閥與控制電路3項要素構成。感測方式以熱式（thermal mass flow）為主流，加熱細管的一部分，由上下游的溫差求出質量流量。由於依存於氣體的比熱，需要以各實際氣體的轉換係數（CF）進行校正。要求更高速、更高精度的用途，則使用差壓式或壓力式（pressure insensitive型）。
在ALD這類需要在短時間內投入精確氣體量的製程中，反應速度決定品質。閥穩定到目標流量所需的時間（settling time）若太長，在脈衝寬度短的步驟中便無法供應預期的量。近年已採用壓力式MFC的高速反應，以及即時驗證實際流量的自我診斷功能（偵測流量隨時間的漂移）。
運用上的課題是隨時間的漂移與堵塞。腐蝕性氣體造成的感測管變質，以及微粒、析出物造成的流路堵塞，會以流量誤差的形式出現，成為製程變異的原因。透過可在現場驗證流量的工具，以及在MFC內部自我校正的功能，正朝減少為定期校正而拆卸（設備停機）的方向演進。
主要廠商有HORIBA STEC、MKS Instruments、Brooks Instrument、Fujikin、CKD等。MFC多半不是單體供應，而是與閥件、調壓器、過濾器一起作為氣體箱（氣體面板）以模組形式供應，並與設備廠商的供氣系統設計一體最佳化。