LabRAM Odyssey Semiconductor 是堀場製作所(HORIBA)可對應晶圓的拉曼・光致發光(PL)成像設備。這是可在直徑最大 300mm 的晶圓上進行拉曼與 PL 成像的真共焦顯微鏡,並將樣品處理與物鏡定位自動化。
使用 4・6・8・12 吋用的載具,以 300×300mm 的電動 XY 載台精密定位。具備可補償晶圓翹曲與彎曲的傾斜補正自動對焦功能。以 DuoScan 技術,靈活運用晶圓全面的高速巨觀光斑掃描,以及用於缺陷檢測的次微米步進掃描。
可在 1 條光譜中同時量測 PL 與拉曼訊號,波長範圍在不更換光學系統的情況下涵蓋 200~2,200nm。以 ParticleFinder PF3 自動偵測晶圓全面的污染並進行化學鑑定。用於均勻性評估、缺陷檢測、石墨烯與過渡金屬二硫屬化物等 2D 材料、先進 FinFET・奈米片的 IV 族半導體,以及 III-V・III-N・SiC 化合物半導體的評估。