最後更新:2026年10月23日有機物分析設備

LabRAM Odyssey Semiconductor的特點與規格

堀場製作所(HORIBA)・有機物分析設備

用於最大 300 mm 晶圓之光致發光・拉曼成像的顯微拉曼設備。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

LabRAM Odyssey Semiconductor 是堀場製作所(HORIBA)可對應晶圓的拉曼・光致發光(PL)成像設備。這是可在直徑最大 300mm 的晶圓上進行拉曼與 PL 成像的真共焦顯微鏡,並將樣品處理與物鏡定位自動化。

使用 4・6・8・12 吋用的載具,以 300×300mm 的電動 XY 載台精密定位。具備可補償晶圓翹曲與彎曲的傾斜補正自動對焦功能。以 DuoScan 技術,靈活運用晶圓全面的高速巨觀光斑掃描,以及用於缺陷檢測的次微米步進掃描。

可在 1 條光譜中同時量測 PL 與拉曼訊號,波長範圍在不更換光學系統的情況下涵蓋 200~2,200nm。以 ParticleFinder PF3 自動偵測晶圓全面的污染並進行化學鑑定。用於均勻性評估、缺陷檢測、石墨烯與過渡金屬二硫屬化物等 2D 材料、先進 FinFET・奈米片的 IV 族半導體,以及 III-V・III-N・SiC 化合物半導體的評估。

主要規格

分析方法顯微拉曼光譜・光致發光
特點量測波長 200 ~ 2,100 nm・空間解析度小於 0.5 µm・300 × 300 mm 自動載台
主要用途鑑定晶圓上的缺陷・不均勻性

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

300mm 晶圓的拉曼・PL 成像(真共焦)
以 DuoScan 進行全面掃描與缺陷檢測
PL・拉曼同時量測、200~2,200nm
以 ParticleFinder PF3 自動偵測污染

主要用途

  • 晶圓的均勻性評估・缺陷檢測
  • 2D 材料・化合物半導體・奈米片的評估

製造商

堀場製作所(HORIBA)(總部:日本)

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資料來源

  1. 堀場製作所(HORIBA)官方產品頁面:HORIBA LabRAM Odyssey Semiconductor