LabRAM Odyssey Semiconductor

最大 300 mm ウェーハのフォトルミネッセンス・ラマンイメージング用顕微ラマン装置。

LabRAM Odyssey Semiconductorとは

LabRAM Odyssey Semiconductor は、HORIBA のウェーハ対応ラマン・フォトルミネッセンス（PL）イメージング装置です。直径 300mm までのウェーハで、ラマンと PL のイメージングを行う真の共焦点顕微鏡で、試料ハンドリングと対物レンズの位置決めを自動化しています。

4・6・8・12 インチ用のホルダーを使い、300×300mm の電動 XY ステージで精密に位置決めします。ウェーハの反りやたわみを補う傾き補正のオートフォーカス機能を持ちます。DuoScan 技術で、ウェーハ全面の高速なマクロスポット走査と、欠陥検査のためのサブミクロンステップ走査を使い分けます。

1 つのスペクトルで PL とラマンの信号を同時に測定でき、波長範囲は光学系を変えずに 200〜2,200nm をカバーします。ParticleFinder PF3 でウェーハ全面の汚染を自動検出して化学的に同定します。均一性評価、欠陥検査、グラフェンや遷移金属ダイカルコゲナイドなどの 2D 材料、先端 FinFET・ナノシートの IV 族半導体、III-V・III-N・SiC の化合物半導体の評価に使われます。

主な特長

•300mm ウェーハのラマン・PL イメージング（真の共焦点）
•DuoScan による全面走査と欠陥検査
•PL・ラマンの同時測定、200〜2,200nm
•ParticleFinder PF3 による汚染の自動検出

主な仕様

分析手法	顕微ラマン分光・フォトルミネッセンス
特徴	測定波長 200 ～ 2,100 nm・空間分解能 0.5 µm 未満・300 × 300 mm 自動ステージ
主要用途	ウェーハ上の欠陥・不均一性の同定

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	島津製作所IRXross	日本分光（JASCO）FT/IR-4X	堀場製作所LabRAM Odyssey Semiconductor
分析手法	FTIR（フーリエ変換赤外分光）	FTIR（フーリエ変換赤外分光）	顕微ラマン分光・フォトルミネッセンス
特徴	S/N 比 55,000:1（IRAffinity-1S の 1.8 倍）	幅 200 mm の試料室・赤外顕微鏡や高速スキャンに対応	測定波長 200 ～ 2,100 nm・空間分解能 0.5 µm 未満・300 × 300 mm 自動ステージ
主要用途	有機物の同定・異物分析	有機化合物の構造解析・異物分析	ウェーハ上の欠陥・不均一性の同定