VF-5300H 是 JTEKT Thermo Systems（原光洋熱系統，Koyo Thermo Systems）的量產用儲存式直立式爐管。支援 φ150～200mm 晶圓，1 次可處理 75 片。
傳送採用 5 片一次與單片的傳送機械手臂組合。加熱器為二矽化鉬（MoSi₂），溫度範圍為 700～1,400°C，可處理比一般矽用氧化爐更高的溫度區間。
主要製程為高溫氧化與氮氧化，採用高氣密性的腔體結構，也支援 SiC 晶圓。適合像 SiC 功率元件閘極氧化層形成這類需要高溫氧化的製程。本體尺寸為 900(W)×2,300(D)×3,300(H)mm。