VF-1000H 是 JTEKT Thermo Systems（原光洋熱系統，Koyo Thermo Systems）的研發用迷你批次立式爐。以單片傳送處理最多 25 片晶圓，雖為 R&D 用途卻能實現高品質的製程。
加熱器有二矽化鉬（MoSi₂）與碳 2 種。MoSi₂ 加熱器規格的溫度範圍為 700～1,400°C，碳加熱器規格為 700～1,850°C，可處理比一般矽用擴散爐更高的溫度區間。
MoSi₂ 加熱器規格可對應最大 φ150mm 的晶圓，並對應多種晶圓尺寸。主要製程為高溫氧化與氮氧化。本體尺寸為 1,800(W)×1,400(D)×2,300(H)mm。