VERTEX Revolution 是國際電氣（KOKUSAI ELECTRIC）支援 200mm 晶圓的批次熱製程設備。是交機實績豐富的暢銷機 VERTEX 系列最新版，從少量多樣產線到大量生產產線，可依需求選擇機型。也支援 150mm 以下的晶圓。
在確保與既有 VERTEX 系列製程相容的同時，導入 300mm 設備的最新設計以提升處理速度。提供可處理 175 片的高生產力爐，以及處理 100 片的低天花板對應爐作為選配。
也提供因應對大氣中氧濃度與濕度敏感之製程的環境氣氛控制選配，並將控制器更新為最新架構以提升處理性能，同時消除停產風險。用途為 CVD 膜・氧化膜的形成、氧化、擴散，以及低溫～超高溫的退火。