MIRAIAL 的 300mm FOUP（型號 KT-3003MIR）是 300mm 晶圓製程內傳送用的容器。符合 SEMI 的 M31、E1.9、E47.1、E15.1、E57、E62 各項標準。
材質為聚碳酸酯，並使用導電材料（E7～E10）。可收納 26 片晶圓，實際使用為 25 片加 1 片假片（dummy）。
以雙層墊片結構防止外部微粒侵入，並以圓形門閂將開口面積降到最小，防止微粒從蓋子內部飛散。採用只需更換必要零件的環保設計。
300mm FOUP的特點與規格
MIRAIAL・晶圓載具・FOUP・EFEM
以高尺寸精度與嚴選材料實現長期使用的 MIRAIAL 300mm 晶圓用製程內容器。
產品概要
主要規格
| 種類 | FOUP（製程內容器） |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm |
| 相關產品 | 300mm FOSB（出貨容器） |
| 主要用途 | 廠內的晶圓傳送・保管 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
符合 SEMI M31・E47.1 等各項標準
以雙層墊片防止微粒侵入
以圓形門閂防止蓋子內部微粒飛散
可依零件單位更換的環保設計
主要用途
- 300mm 晶圓廠的製程內晶圓傳送
製造商
MIRAIAL（總部：日本）