300mm FOUPとは
ミライアルの 300mm FOUP（型番 KT-3003MIR）は、300mm ウェーハの工程内搬送用の容器です。SEMI の M31、E1.9、E47.1、E15.1、E57、E62 の各規格に準拠しています。
材質はポリカーボネートで、導電材料（E7〜E10）を使っています。ウェーハは 26 枚を収納でき、実用は 25 枚とダミー 1 枚です。
二重ガスケット構造で外部からのパーティクルの侵入を防ぎ、丸型ラッチで開口面積を最小にしてフタの内部からのパーティクルの飛散を防ぎます。必要な部品だけを交換できる環境配慮型の設計です。
主な特長
- •SEMI M31・E47.1 など各規格に準拠
- •二重ガスケットでパーティクル侵入を防止
- •丸型ラッチでフタ内部からの飛散を防止
- •部品単位で交換できる環境配慮設計
主な仕様
| 種類 | FOUP（工程内容器） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 300 mm |
| 関連製品 | 300mm FOSB（出荷容器） |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ミライアル（MIRAIAL）300mm FOUP | 信越ポリマーFOUP300EX | EntegrisSpectra™ FOUP |
|---|---|---|---|
| 種類 | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm | 300 mm（最大 25 枚） | 300 mm（最大 26 枚） |
| 関連製品 | 300mm FOSB（出荷容器） | MW300GT・PANEL FOUP | A300 FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送（パージ対応） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm ファブの工程内ウェーハ搬送
掲載カテゴリ
300mm FOUPは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ミライアル（MIRAIAL）
半導体ウェハ搬送容器の専業メーカー。300mmウェハ用FOUP・FOSBを精密樹脂成形技術で製造し、ウェハの清浄度保持と搬送・出荷の標準化を支える。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06