Suba 系列是 Nitta DuPont 的研磨墊。以聚酯不織布含浸聚氨酯製成。
為矽晶圓的一次研磨・二次研磨而開發。也有邊緣研磨用的品項。
Suba 系列的特點與規格
Nitta DuPont・研磨墊・研磨頭零件
在聚酯不織布中含浸聚氨酯的研磨墊。為矽晶圓的一次・二次研磨而開發。
產品概要
主要規格
| 種類 | 研磨墊（不織布含浸） |
|---|---|
| 相關產品 | 邊緣研磨用 |
| 主要用途 | 矽晶圓的一次・二次研磨 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
不織布含浸型研磨墊
也有邊緣研磨用
主要用途
- 矽晶圓的一次・二次研磨
製造商
Nitta DuPont（總部：日本）