Suba シリーズとは
Suba シリーズは、ニッタ・デュポンの研磨パッドです。ポリエステルの不織布にポリウレタンを含ませて作ります。
シリコンウェーハの一次研磨・二次研磨用に開発されました。エッジ研磨用の品種もあります。
主な特長
- •不織布含浸タイプの研磨パッド
- •エッジ研磨用もあり
主な仕様
| 種類 | 研磨パッド（不織布含浸） |
|---|---|
| 関連製品 | エッジ研磨用 |
| 主要用途 | シリコンウェーハの一次・二次研磨 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | フジミインコーポレーテッドGLANZOX | ニッタ・デュポンIC1000™ シリーズ | ニッタ・デュポンSuba™ シリーズ |
|---|---|---|---|
| 種類 | 研磨材（コロイダルシリカ） | 研磨パッド（発泡ポリウレタン） | 研磨パッド（不織布含浸） |
| 関連製品 | GLANZOX E-Series（端面研磨用） | 溝加工（XY・同心円・放射）・パーフォレーション | エッジ研磨用 |
| 主要用途 | シリコンウェーハの鏡面研磨 | デバイス CMP 全般 | シリコンウェーハの一次・二次研磨 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •シリコンウェーハの一次・二次研磨
掲載カテゴリ
Suba シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ニッタ・デュポン
ニッタとDuPontの合弁によるCMP消耗材メーカー。ポリウレタン製研磨パッドとCMPスラリーを製造し、パッドとスラリーの組合せ最適化を提案する。
研磨用パッド・キャリア部品のほかの製品
ニッタ・デュポンのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07