FE-300F 是大塚電子（Otsuka Electronics）的膜厚監控器。採用光干涉法，以分光光度計分析反射光譜，由折射率求得光學膜厚。
量測範圍以 SiO₂ 換算為 3nm～35µm，量測光斑直徑 φ1.2mm，波長範圍 300～800nm。可藉選擇分光光度計與光源來選擇量測範圍，並能量測絕對反射率，因此也可進行光學常數分析。
特點為小型、價格實惠且易於使用，具備即時監控與模擬功能。除了半導體的氧化膜・光阻・SiC・GaN 外，也用於透明導電膜、相位差膜、DLC 鍍膜、光學濾光片、液晶・有機 EL 零組件等的膜厚量測。