FE-5000 系列的特點與規格

FE-5000 系列是大塚電子（Otsuka Electronics）的光譜橢圓偏光儀。採用旋轉檢偏器法，選配也可支援偏光片驅動與相位板自動裝卸。波長範圍為紫外～可見光的 300～800nm。

以 400 通道以上的多通道分光，高速量測橢偏光譜。由於可改變反射角，能詳細調查薄膜。另具備光學常數資料庫與配方登錄功能。

tanψ 與 cosΔ 的量測精度皆為 ±0.01 以下，膜厚重複再現性以標準 SiO₂ 計為 0.01% 以下，可量測膜厚為 0.1nm～1µm。用於閘極氧化膜、氮化膜等半導體晶圓、化合物半導體、FPD 配向膜、光學鍍膜、DLC 等的評估，也能解析光學常數未知的極薄膜。