ATH 系列的特點與規格

ATH 系列是普發真空（Pfeiffer Vacuum）的磁浮式渦輪分子幫浦。標稱抽氣速度從 350L/s 到 3,050L/s，定位為大容量的磁浮軸承渦輪幫浦。

以 5 軸磁浮軸承系統使轉子始終保持非接觸懸浮旋轉。由於沒有機械摩擦與磨耗，可免保養，且不使用潤滑劑，能產生無油的潔淨真空。非接觸運轉也使噪音與振動較小。

具備停電時利用旋轉動能為磁浮軸承供應備援電力的安全功能。適合半導體製造、鍍膜與研發中的高真空・超高真空用途。