ATH シリーズとは
ATH シリーズは、Pfeiffer Vacuum の磁気浮上式ターボ分子ポンプです。公称排気速度は 350L/s から 3,050L/s までと大きく、大容量の磁気軸受ターボポンプとして位置づけられています。
5 軸の磁気軸受システムでローターを常に非接触で浮かせて回します。機械的な摩擦や摩耗がないためメンテナンスフリーで、潤滑剤を使わないオイルフリーの清浄な真空をつくれます。非接触で動くので騒音と振動も小さくなります。
停電時には、回転の運動エネルギーから磁気軸受にバックアップ電力を供給する安全機能を持ちます。半導体製造、コーティング、研究開発での高真空・超高真空の用途に向いています。
主な特長
- •5 軸磁気軸受の磁気浮上式
- •公称排気速度 350〜3,050L/s
- •メンテナンスフリー・オイルフリー
- •停電時のバックアップ電力
主な仕様
| 方式 | ターボ分子ポンプ（5 軸磁気浮上） |
|---|---|
| 特徴 | 高ガス処理量・保護軸受の高速復帰 |
| 主要用途 | 腐食性ガスを使う製造プロセス |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
ターボ分子ポンプ：2機種の比較
| 項目 | Pfeiffer VacuumHiPace® ターボ分子ポンプ | Pfeiffer VacuumATH シリーズ（ATH 500 M ～ ATH 3200 M） |
|---|---|---|
| 方式 | ターボ分子ポンプ（ハイブリッド／磁気軸受） | ターボ分子ポンプ（5 軸磁気浮上） |
| 特徴 | 低騒音・低振動・SEMI S2 対応 | 高ガス処理量・保護軸受の高速復帰 |
| 主要用途 | コーティング・半導体製造・分析装置 | 腐食性ガスを使う製造プロセス |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •半導体製造装置のプロセスチャンバー排気
- •コーティング・研究開発の超高真空
掲載カテゴリ
ATH シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Pfeiffer Vacuum
半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。
真空ポンプのほかの製品
Pfeiffer Vacuumのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06