最後更新:2026年10月23日真空幫浦

HiPace 渦輪分子泵的特點與規格

普發真空(Pfeiffer Vacuum)・真空幫浦

採用混合式軸承或磁浮軸承的小型渦輪分子幫浦。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

HiPace 是普發真空(Pfeiffer Vacuum)的渦輪分子幫浦系列。從小型的 HiPace 10 Neo 到大型的 HiPace 2800/3400 IT 共有 23 種機型,支援高真空・超高真空用途。

軸承可選擇結合陶瓷滾珠與永久磁鐵的混合式,或完全磁浮式。特點是高抽氣速度與氣體處理量、快速啟動、小型輕量、低噪音・低振動。混合式軸承機型的陶瓷軸承與潤滑液更換可在 30 分鐘內完成,減少停機時間。

另有為壓縮氫氣等輕氣體而附 Holweck 級的機型,以及採用電漿化學處理 Kepla 鍍膜轉子的耐蝕機型。用於鍍膜、半導體製造、質譜儀與電子顯微鏡等分析儀器,以及攜帶式科學儀器。

主要規格

方式渦輪分子幫浦(混合式/磁浮軸承)
特點低噪音・低振動・符合 SEMI S2
主要用途鍍膜・半導體製造・分析設備

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

23 種機型(HiPace 10 Neo~2800/3400 IT)
混合式軸承/磁浮軸承
軸承更換 30 分鐘內(混合式)
適用氫氣的 Holweck 級・Kepla 耐蝕轉子

主要用途

  • 半導體製造設備的高真空排氣
  • 鍍膜・分析儀器

製造商

普發真空(Pfeiffer Vacuum)(總部:德國)

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資料來源

  1. 普發真空(Pfeiffer Vacuum)官方產品頁面:Pfeiffer Vacuum HiPace