ACE SORTER 是 RORZE 的高產能晶圓分片機。這是在載具之間重新排序晶圓或讀取 ID 的設備,可處理 300mm 晶圓(Φ300±0.2mm、厚度 775µm)。
對應 300mm FOUP 25 層(SEMI E47.1)與 300mm FOSB 25 層(SEMI M31)的載具。具備以雙對位機進行的高速對位、防止微粒轉印到晶圓背面的邊緣夾持,以及晶圓雙面 ID 讀取。
可整合至 OHT 與倉儲系統,並以觸控面板直覺操作。可擴充的機架結構也能因應未來升級。依裝載埠數量分為 RSC132(2 埠)、RSC142(3 埠)、RSC152(4 埠)等機型,並可選配晶圓翻轉、開放式卡匣、化學過濾器、條碼/RF-ID 讀取器、200/300mm 共用、離子產生器等。