晶圓分片機（Wafer Sorter）是什麼
晶圓分片機（wafer sorter）是在多個載具之間重新排列・移轉晶圓的設備。用於變更批次編組、抽取監控晶圓（monitor wafer）、剔除不良晶圓、在不同搬送規格的載具之間交接等，需要重組產線流動單位的場合。一般配置為內建晶圓 ID 讀取器與對位機，以每 1 片為單位識別並放入指定位置。雖然是不起眼的設備，但在此發生的錯置會直接破壞製程履歷本身，因此是一台把動作確實性列為最優先的設備。
重點整理
在載具間重新排列・移轉晶圓，重新編組批次
用於抽取監控晶圓或剔除不良晶圓
內建 ID 讀取器與對位機，以每 1 片為單位識別後放入
錯置會破壞製程履歷，因此動作確實性最優先
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