ACE SORTER
サーボ搭載のクリーンロボット・アライナー・直動軸で高スループットのソーティングを行うローツェのソーター。フレームの前後にロードポートを付けられる。
ACE SORTERとは
ACE SORTER は、ローツェの高スループット ウェーハソーターです。ウェーハをキャリア間で並べ替えたり、ID を読み取ったりする装置で、300mm ウェーハ（Φ300±0.2mm、厚さ 775µm）を扱います。
300mm FOUP 25 段（SEMI E47.1）と 300mm FOSB 25 段（SEMI M31）のキャリアに対応します。デュアルアライナーによる高速アライメント、ウェーハ裏面へのパーティクル転写を防ぐエッジクランプ、ウェーハ両面の ID 読み取りを備えます。
OHT やストッカーへの組み込みに対応し、タッチパネルで直感的に操作できます。拡張できるフレーム構造で将来のアップグレードも可能です。ロードポート数で RSC132（2 ポート）、RSC142（3 ポート）、RSC152（4 ポート）の機種があり、ウェーハ反転、オープンカセット、ケミカルフィルター、バーコード／RF-ID リーダー、200／300mm 兼用、イオナイザーなどのオプションを選べます。
主な特長
- •デュアルアライナーによる高速アライメント
- •エッジクランプで裏面へのパーティクル転写を防止
- •両面 ID 読み取り
- •2〜4 ロードポート（RSC132／142／152）
主な仕様
| 対応ウェハ径 | 200 mm／300 mm |
|---|---|
| 構成 | クリーンロボット＋アライナー＋直動走行軸 |
| 主要用途 | ウェーハの並べ替え・移載 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm ウェーハのソーティング・ID 管理
- •OHT・ストッカーと連携した自動化ライン
掲載カテゴリ
ACE SORTERは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ローツェ（RORZE）
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06