RR493 系列是 RORZE 的真空用 SCARA 手臂機器人(單臂),在半導體製造設備的真空傳送室中,將晶圓送入及取出製程腔體。
驅動採用真空用直驅馬達(DDM),具備高位置重現性與高可靠度的真空隔離性能。以鋼帶驅動的連桿手臂機構,可在精巧佔地面積下使用較長的末端執行器(end effector)。
迴轉直徑小至 530mm,也支援 15mm 的狹窄閘門,X・Y 精度為 ±0.1mm,可無限旋轉。支援 10⁻⁶Pa 的超高真空與 5×10⁻⁹ 的 He 洩漏率。可處理最大 300mm 的晶圓,可搬重量 3.0kg,Z 軸行程為 70mm/140mm。