最後更新:2026年10月23日晶圓傳送機械手臂・取放系統

RR493 系列的特點與規格

RORZE・晶圓傳送機械手臂・取放系統

驅動部採用真空直驅馬達的 RORZE 真空用單臂機械手臂。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

RR493 系列是 RORZE 的真空用 SCARA 手臂機器人(單臂),在半導體製造設備的真空傳送室中,將晶圓送入及取出製程腔體。

驅動採用真空用直驅馬達(DDM),具備高位置重現性與高可靠度的真空隔離性能。以鋼帶驅動的連桿手臂機構,可在精巧佔地面積下使用較長的末端執行器(end effector)。

迴轉直徑小至 530mm,也支援 15mm 的狹窄閘門,X・Y 精度為 ±0.1mm,可無限旋轉。支援 10⁻⁶Pa 的超高真空與 5×10⁻⁹ 的 He 洩漏率。可處理最大 300mm 的晶圓,可搬重量 3.0kg,Z 軸行程為 70mm/140mm。

主要規格

使用環境真空
手臂組成SCARA 手臂(單臂)
驅動真空直驅馬達(DDM)
相關機型RR481(迴力鏢型・雙臂)/RR492(蛙腿型)
主要用途~300 mm 晶圓的真空傳送

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

真空 DDM 驅動的 SCARA 手臂
迴轉直徑 530mm,支援 15mm 閘門
X・Y 精度 ±0.1mm,無限旋轉
支援 10⁻⁶Pa 超高真空

主要用途

  • 真空傳送室內的晶圓傳送

製造商

RORZE(總部:日本)

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資料來源

  1. RORZE 官方產品頁面:RR493