RR493 シリーズ（真空用スカラアーム）

駆動部に真空ダイレクトドライブモーターを使ったローツェの真空用シングルアームロボット。

RR493 シリーズとは

RR493 シリーズは、ローツェの真空用スカラアームロボット（シングルアーム）です。半導体製造装置の真空搬送室で、ウェーハをプロセスチャンバーへ出し入れします。

駆動には真空用のダイレクトドライブモーター（DDM）を使い、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を持ちます。スチールベルトで駆動するリンクアーム機構により、コンパクトな設置面積のまま長いエンドエフェクターを使えます。

旋回直径は 530mm と小さく、15mm の狭いゲートにも対応し、X・Y の精度は ±0.1mm、無限回転が可能です。10⁻⁶Pa の超高真空と 5×10⁻⁹ の He リーク率に対応します。300mm までのウェーハを扱い、可搬重量は 3.0kg、Z 軸ストロークは 70mm／140mm です。

主な特長

•真空 DDM 駆動のスカラアーム
•旋回直径 530mm、ゲート 15mm に対応
•X・Y 精度 ±0.1mm、無限回転
•10⁻⁶Pa の超高真空対応

主な仕様

使用環境	真空
アーム構成	スカラアーム（シングル）
駆動	真空ダイレクトドライブモーター（DDM）
関連機種	RR481（ブーメラン・ダブル）／RR492（フロッグレッグ）
主要用途	～300 mm ウェーハの真空搬送

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ローツェ（RORZE）RR493 シリーズ（真空用スカラアーム）	安川電機SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-C
使用環境	真空	真空（高真空対応）
アーム構成	スカラアーム（シングル）	4 軸水平多関節・双腕
駆動	真空ダイレクトドライブモーター（DDM）	真空 DD モーター＋スチールベルト
関連機種	RR481（ブーメラン・ダブル）／RR492（フロッグレッグ）	SEMISTAR-GEKKO MD124D（大気用）
主要用途	～300 mm ウェーハの真空搬送	成膜・エッチング装置のウェーハ搬送