FOUP300EX 是信越聚合物(Shin-Etsu Polymer)的 300mm 晶圓用 FOUP(前開式晶圓傳送盒)。為支援廠內自動搬送的製程內容器,可安全傳送・保管最多 25 片 300mm 晶圓。
具備可防止外部微粒與汙染的優異密封性。主要零件採用 ESD(防靜電)材料,以一體成型的設計防止微粒產生並維持尺寸精度。清洗後的乾燥時間也能縮短。
備有導電性側軌、條碼・RF ID 標籤、抗 UV 視窗、卡片盒、多種顏色等選配。FOUP 是 300mm 晶圓廠中於製程間搬運晶圓的基本容器,其潔淨度與尺寸精度左右自動搬送的可靠度。