FOUP300EXとは
FOUP300EX は、信越ポリマーの 300mm ウェーハ用 FOUP（フープ）です。工場内の自動搬送に対応した工程内容器で、最大 25 枚の 300mm ウェーハを安全に搬送・保管します。
外部からのパーティクルや汚染を防ぐ優れた密閉性を持ちます。主要部品に ESD（静電気対策）材を使い、単一成形品の設計でパーティクルの発生を防ぎ、寸法精度を保つ構造です。洗浄後の乾燥時間も短くできます。
導電性のサイドレール、バーコード・RF ID タグ、UV カット窓、カード用ケース、複数の色などのオプションを用意しています。FOUP は 300mm ファブで工程間のウェーハを運ぶ基本的な容器で、清浄度と寸法精度が自動搬送の信頼性を左右します。
主な特長
- •最大 25 枚の 300mm ウェーハを搬送・保管
- •高い密閉性・ESD 材を使用
- •単一成形品設計で低発塵・寸法精度
- •洗浄後の乾燥時間を短縮
主な仕様
| 種類 | FOUP（工程内容器） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 300 mm（最大 25 枚） |
| 関連製品 | MW300GT・PANEL FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ミライアル（MIRAIAL）300mm FOUP | 信越ポリマーFOUP300EX | EntegrisSpectra™ FOUP |
|---|---|---|---|
| 種類 | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm | 300 mm（最大 25 枚） | 300 mm（最大 26 枚） |
| 関連製品 | 300mm FOSB（出荷容器） | MW300GT・PANEL FOUP | A300 FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送（パージ対応） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm ファブの工程内ウェーハ搬送・保管
掲載カテゴリ
FOUP300EXは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
信越ポリマー
信越化学グループの樹脂成形メーカー。半導体分野では300mmウェハ用FOUP・FOSB、レチクルポッド、各種搬送治具を供給し、ウェハとマスクの清浄搬送を支える。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06