New MX2000 是 Tazmo 的 CMP 研磨液供應系統。將 CMP 製程使用的研磨液稀釋・混合後,集中供應至多台 CMP 設備。據廠商表示,已有 20 年以上的實績,在許多半導體工廠中有助於高稼動率與穩定生產。
最大特點是不使用幫浦的獨家供應方式。以真空吸引與氮氣加壓輸送研磨液,因此能抑制幫浦剪切造成的研磨粒子凝聚。凝聚的粒子會造成研磨刮傷,因此供應方式直接影響 CMP 的良率。
除觸控面板操作外,還具備警報履歷、條碼管理與運轉資料記錄功能。該公司另有在 2 個機櫃中配置混合部・供應部・槽體的雙引擎型 iSIS1200J,以及金屬 CMP 用粉體氧化劑(APS)的溶解・供應系統。