最後更新:2026年10月23日研磨液供應・回收設備

New MX2000的特點與規格

Tazmo・研磨液供應・回收設備

Tazmo 將 CMP 製程的各種研磨液稀釋・混合後供應的設備。為抑制磨粒凝聚,採用不使用幫浦的供應方式。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

New MX2000 是 Tazmo 的 CMP 研磨液供應系統。將 CMP 製程使用的研磨液稀釋・混合後,集中供應至多台 CMP 設備。據廠商表示,已有 20 年以上的實績,在許多半導體工廠中有助於高稼動率與穩定生產。

最大特點是不使用幫浦的獨家供應方式。以真空吸引與氮氣加壓輸送研磨液,因此能抑制幫浦剪切造成的研磨粒子凝聚。凝聚的粒子會造成研磨刮傷,因此供應方式直接影響 CMP 的良率。

除觸控面板操作外,還具備警報履歷、條碼管理與運轉資料記錄功能。該公司另有在 2 個機櫃中配置混合部・供應部・槽體的雙引擎型 iSIS1200J,以及金屬 CMP 用粉體氧化劑(APS)的溶解・供應系統。

主要規格

供應方式無幫浦供應
功能稀釋・混合・供應
主要用途對 CMP 製程供應研磨液

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以真空吸引/氮氣加壓輸送實現無幫浦供應
抑制研磨粒子凝聚
集中供應至多台 CMP 設備
警報履歷・條碼管理・資料記錄

主要用途

  • CMP 製程的研磨液稀釋・混合・供應

製造商

Tazmo(總部:日本)

所屬設備分類

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資料來源

  1. Tazmo 官方產品頁面:CMP