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AMEC(中微半导体)

中国を代表するエッチング装置・MOCVD装置メーカー。ICP・CCP方式のドライエッチング装置でTSMC・UMCなどへの採用実績を持ち、MOCVD装置でも国際競争力を高めている。

🌐 中国装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai のエッチング装置カテゴリでは、ICP・CCP 方式で先端ノードに対応する中国の有力メーカーとして、TSMC など海外ファブへの採用実績を持つ立場にあります。

企業の強み

先端ノード対応エッチング装置(ICP・CCP方式)
TSMC・UMC等への採用実績あり
MOCVD装置でGaN/SiC量産にも対応

主要製品・ソリューション

エッチング装置

  • Primo AD-RIE(ICP)
  • Primo D-RIE(CCP)

MOCVD装置

  • Prismo(GaN LED・GaN HEMT)

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、AMEC(中微半导体)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

ドライエッチングとは →RIEとは →ICP(誘導結合プラズマ)とは →MOCVDとは →ALE(原子層エッチング)とは →
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