AMEC（中微半导体）
中国を代表するエッチング装置・MOCVD装置メーカー。ICP・CCP方式のドライエッチング装置でTSMC・UMCなどへの採用実績を持ち、MOCVD装置でも国際競争力を高めている。
中国・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai のエッチング装置カテゴリでは、ICP・CCP 方式で先端ノードに対応する中国の有力メーカーとして、TSMC など海外ファブへの採用実績を持つ立場にあります。
企業の強み
先端ノード対応エッチング装置（ICP・CCP方式）
TSMC・UMC等への採用実績あり
MOCVD装置でGaN/SiC量産にも対応
主要製品・ソリューション
エッチング装置
- •Primo AD-RIE（ICP）
- •Primo D-RIE（CCP）
MOCVD装置
- •Prismo（GaN LED・GaN HEMT）
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、AMEC（中微半导体）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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