ダルトン
理化学機器・研究設備と半導体製造装置を手がけるメーカー。半導体分野ではレジスト剥離・洗浄・乾燥からめっき、溶剤再生まで、ウエハや治具の用途に応じたウェットプロセス装置を研究開発用の少量生産機から量産機まで供給する。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の洗浄装置カテゴリでは、研究開発向けの少量機から量産機まで、剥離・洗浄・乾燥のウェット工程を一通り手がける国内装置メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
剥離・洗浄・乾燥を一貫して扱うウェット装置群
研究開発用の少量機から量産機までの対応幅
めっき・溶剤再生など周辺工程の装置
主要製品・ソリューション
ウェットプロセス装置
- •レジスト剥離装置
- •洗浄装置
- •乾燥装置
- •めっき装置
- •溶剤再生装置
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ダルトンを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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