関東電化工業

フッ素系特殊ガスの国内大手メーカー。半導体エッチング・成膜工程で使われる高純度プロセスガスを中心に、化学品事業を展開する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の材料カテゴリでは、半導体用特殊ガスの国内大手として、エッチング・成膜工程向けガス供給を支える立場にあります。

企業の強み

フッ素系特殊ガスで国内大手

エッチング・成膜向けガスに強み

高純度化学品の製造技術

主要製品・ソリューション

特殊ガス

•フッ素系プロセスガス

関連装置カテゴリ

特殊ガスは、半導体製造の成膜・エッチング・洗浄・ドーピングなどの各工程で使用される高純度ガスの総称です。

メーカー 6 社エッチング装置

エッチング装置は、ウェハ上の薄膜から不要な部分を除去し、微細な回路パターンを形成する前工程の中核装置です。

メーカー 7 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、関東電化工業を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

特殊ガス（半導体プロセスガス）とは→エッチングとは→CVD（化学気相成長）とは→

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