Matheson（TNSC Group）

半導体向け特殊ガス・超高純度バルクガスの大手サプライヤー（大陽日酸グループのUS子会社）。NF₃・WF₆・SiH₄・BF₃・AsH₃などの半導体向けプロセスガスを北米・アジアのファブへ供給。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の材料（特殊ガス）カテゴリでは、北米最大級の半導体特殊ガスサプライヤーとして、大陽日酸グループの一員でガス供給・配管インフラを担う立場にあります。

企業の強み

北米最大の半導体特殊ガスサプライヤー

大陽日酸グループの一員として国際供給ネットワーク

ガスキャビネット・配管システムの設計・設置サービス

主要製品・ソリューション

特殊ガス

•NF₃・WF₆・SiH₄・BF₃・HF・AsH₃

超高純度バルクガス

•N₂・O₂・Ar・H₂・He（6N以上）

関連装置カテゴリ

特殊ガスは、半導体製造の成膜・エッチング・洗浄・ドーピングなどの各工程で使用される高純度ガスの総称です。

メーカー 6 社ケミカル供給設備

薬液供給システム（Chemical Delivery System）は、ウェハ洗浄・エッチング・CMP・フォトレジスト塗布など前工程の各装置に、高純度薬液（HF・硫酸・SC-1/SC-2洗浄液・現像液など）を精密に計量・混合して供給するファブインフラ設備です。

メーカー 6 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Matheson（TNSC Group）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

特殊ガス・プロセスガスとは→CVD（化学気相成長）とは→イオン注入とは→ドライエッチングとは→

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