オーク製作所（ORC Manufacturing）

プリント基板・半導体パッケージ向けUV露光装置・マスクアライナーの専業メーカー。成熟ノード向けi線・UV露光システムを提供し、パッケージ基板・フレキシブル基板の微細化に対応。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の露光装置カテゴリでは、パッケージ基板向け UV 露光・マスクアライナーの国内最大手として、先端パッケージングや FPC 基板のパターン形成を担う立場にあります。

企業の強み

パッケージ基板向けUV露光装置で国内最大手

マスクアライナー・プロジェクション露光の豊富な実績

フレキシブル基板・先端パッケージング基板に対応

主要製品・ソリューション

UV露光装置

•EXM-1600（マスクアライナー）
•UniStar（プロジェクション）

レーザー露光装置

•LDE series

関連装置カテゴリ

露光装置（リソグラフィ装置）は、マスク（レチクル）に描かれた回路パターンをウェハ上のフォトレジストに光を用いて転写する装置群です。

メーカー 6 社 i線ステッパ

i線ステッパー（i-line Stepper）は、水銀ランプのi線（波長365nm）を光源とする露光装置で、0.18μm以上の成熟ノードの半導体製造に現在も広く使用されています。

メーカー 5 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、オーク製作所（ORC Manufacturing）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

露光（リソグラフィ）とは→フォトマスクとは→先進パッケージングとは→

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