カール・ツァイスSMT（Carl Zeiss SMT）
ASMLの露光装置向け投影光学系・照明光学系を独占供給するドイツの精密光学メーカー。EUV反射光学系の超高精度研磨・多層膜コーティング技術で最先端リソグラフィを支える。
ドイツ・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の露光装置カテゴリでは、ASMLのEUV/DUV露光装置に光学系を独占供給する重要パートナーとして位置づけられます。
企業の強み
ASML露光装置向け光学系をほぼ独占供給
EUV反射光学系の超高精度加工技術
半導体検査用光学部品も展開
主要製品・ソリューション
露光装置光学系
- •EUV投影光学系
- •DUV投影レンズ
- •マスク検査用光学系
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、カール・ツァイスSMT（Carl Zeiss SMT）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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比較・違いを学ぶ
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