テストハンドラメーカー5社

テストハンドラ(Test Handler)は、半導体デバイスの電気特性検査工程において、製品の自動搬送・温度調節・ソケット接続・選別・マーキングを高速・高精度で実行する自動化装置です。-55℃~+150℃の広範囲温度制御下での信頼性試験にも対応し、良品・不良品の自動分類により検査効率を最大化します。1時間あたり数千~数万個の高スループット処理が可能で、ATEと連携した完全自動化により、後工程における生産性向上とコスト削減に大きく貢献します。

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主要特徴

デバイスをテスターに自動搬送・接触・回収する自動化装置
−55℃〜175℃の広温度範囲で温度ストレス(ソーク)テストに対応
SOD・TSOP・BGA・CSPなど多様なパッケージ形態に対応
高UPH(Unit Per Hour)と低コンタクト不良率が選定の主要指標
ウェハレベルテスト対応型のプローバーとの組み合わせも一般化

よくある質問

テストハンドラーとプローバーの違いは?▾
プローバーはダイシング前のウェハ状態でプローブカードを使って電気テストを行う前工程寄り装置です。テストハンドラーはパッケージング後の個片化されたデバイスをテスターに搬送する後工程装置です。
主要メーカーは?▾
Advantest(日)とTeradyne(米)がテスター大手ですが、ハンドラー専業メーカーとしてコアロジック(韓)、Epson(日)、Aehr Test Systems(米)などが存在します。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目アドバンテストM6242(テストハンドラ)アドバンテストM5241(テストハンドラ)アドバンテストM4841(テストハンドラ)アドバンテストM4872(テストハンドラ)アドバンテストM4173(テストハンドラ)CohuEclipse(テストハンドラ)
温度範囲—−40〜+125℃(標準)−40〜+125℃(オプションで −55〜+175℃)—−45〜125℃(Tri-temp)-45 ~ +155°C
スループット42,200 個/時—毎時 18,500 個——最大 13,000 UPH
対象BGA・CSP などのメモリパッケージ——AI・自動運転向けのハイエンド SoC——
温度制御-10 ~ 100°C で ±1.5°C——ATC(大容量の冷却・加熱)——
1機種だけが掲載している項目(9件)
関連機種M6243・M6241(前機種)—————
温度精度—±1.0℃(マイクロチャンバー方式)————
並列数・スループット—最大 512 デバイス・最大 46,000 UPH————
同時測定——最大 32 個(従来機比 4 倍)———
荷重制御———Die Force Control(ダイ部と周囲を別々に制御)——
サイト数————シングルサイト(研究開発向け)—
特徴————ネットワーク経由の遠隔操作—
方式—————ピック&プレース
並列数—————最大 16 個

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

代表製品・スペック

製品写真
アドバンテスト

M6242(テストハンドラ)

量産 DRAM 向けのアドバンテストのテストハンドラ。前機種 M6241 の 2 倍以上のスループットを持つ。

対象BGA・CSP などのメモリパッケージ
スループット42,200 個/時
温度制御-10 ~ 100°C で ±1.5°C
関連機種M6243・M6241(前機種)
製品写真
アドバンテスト

M5241(テストハンドラ)

DRAM・NAND・HBM の量産テスト向けの次世代メモリハンドラ。マイクロチャンバー方式で ±1.0℃ の温度精度。

温度精度±1.0℃(マイクロチャンバー方式)
並列数・スループット最大 512 デバイス・最大 46,000 UPH
温度範囲−40〜+125℃(標準)
製品写真
アドバンテスト

M4841(テストハンドラ)

MCU・DSP の大量生産向けの高スループットのテストハンドラ。最大 32 個同時測定、毎時 18,500 個。

同時測定最大 32 個(従来機比 4 倍)
スループット毎時 18,500 個
温度範囲−40〜+125℃(オプションで −55〜+175℃)
製品写真
アドバンテスト

M4872(テストハンドラ)

ハイエンド SoC の試験時の高発熱に対応する ATC 機能と、ダイ部分の荷重を別に制御する機能を持つテストハンドラ。

温度制御ATC(大容量の冷却・加熱)
荷重制御Die Force Control(ダイ部と周囲を別々に制御)
対象AI・自動運転向けのハイエンド SoC
製品写真
アドバンテスト

M4173(テストハンドラ)

世界中から遠隔操作できる研究開発向けのシングルサイトテストハンドラ。−45〜125℃ の温度試験を自動化する。

サイト数シングルサイト(研究開発向け)
温度範囲−45〜125℃(Tri-temp)
特徴ネットワーク経由の遠隔操作
製品写真
Cohu

Eclipse(テストハンドラ)

アナログ IC から高性能 CPU・モバイルプロセッサまでを扱う Cohu のピック&プレース型テストハンドラ。

方式ピック&プレース
並列数最大 16 個
温度範囲-45 ~ +155°C
スループット最大 13,000 UPH

※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

メーカー

5社の主要メーカー

アドバンテスト日本

半導体テスト装置(ATE)市場で世界シェア50%超のリーダー。SoC、メモリ、パワー半導体の包括的テストソリューションを提供。

SoCテストシステム
V93000T2000
メモリテストシステム
T5800T5500
パワーテストシステム
MTe
  • •ATE市場で世界シェア50%以上のトップポジション
  • •SoC、メモリ、パワー半導体の包括的テストソリューション
会社詳細
Teradyne(テラダイン)米国

ATE(自動テスト装置)の世界大手。SoC・メモリ・車載・産業向けに幅広いテストプラットフォームを展開し、アドバンテストと市場を二分。

SoCテストシステム
UltraFLEXplusETS-800
メモリテストシステム
Magnum
  • •ATE市場でアドバンテストと並ぶ世界2強の一角
  • •SoC・メモリ・車載向けの包括的テストラインナップ
会社詳細
上野精機日本

電子部品の加工組立・検査装置メーカー。テストハンドラやテーピング装置、外観検査装置などを供給し、パッケージ済みデバイスの選別から梱包までを自動化する。

ハンドラ
テストハンドラ選別装置
梱包・検査
テーピング装置外観検査装置
  • •テストハンドラとテーピング装置の一貫供給
  • •小型パッケージの高速ハンドリング
会社詳細
テセック日本

ディスクリート半導体・パワーデバイス向けのテスタとテストハンドラを手掛けるメーカー。測定器とハンドラを組み合わせたテストシステムとして供給する。

テストシステム
ディスクリート用テスタパワーデバイス用テスタ
ハンドラ
テストハンドラ
  • •ディスクリート・パワーデバイスのテストに特化
  • •テスタとハンドラを自社で組み合わせて提供
会社詳細
Cohu米国

半導体テストハンドラ・テストソケット・テスト用サーマルシステムの主要メーカー。Xcerra買収後にテストエコシステムをワンストップ提供。

テストハンドラ
DeltaNeonLeapfrog
テストソケット
BGA/CSPソケットQFPソケット
  • •ICテストハンドラのグローバル主要サプライヤー
  • •テストソケット・コンタクタの広範なポートフォリオ
会社詳細

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