SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
光学式ウェーハ検査装置メーカー7社
光学式ウェーハ検査装置は、レーザーや白色光を用いてウェーハ表面の異物・スクラッチ・結晶欠陥などを高速で検出する装置です。ブライトフィールド(明視野)・ダークフィールド(暗視野)方式があり、スループットに優れるため量産ラインの全数検査に用いられます。KLA・Onto Innovation・レーザーテック・Camtek などが主要メーカーです。
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光学式ウェーハ検査装置は、レーザーや白色光を用いてウェーハ表面の異物・スクラッチ・結晶欠陥などを高速で検出する装置です。ブライトフィールド(明視野)・ダークフィールド(暗視野)方式があり、スループットに優れるため量産ラインの全数検査に用いられます。KLA・Onto Innovation・レーザーテック・Camtek などが主要メーカーです。
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