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光学式ウェーハ検査装置メーカー7

光学式ウェーハ検査装置は、レーザーや白色光を用いてウェーハ表面の異物・スクラッチ・結晶欠陥などを高速で検出する装置です。ブライトフィールド(明視野)・ダークフィールド(暗視野)方式があり、スループットに優れるため量産ラインの全数検査に用いられます。KLA・Onto Innovation・レーザーテック・Camtek などが主要メーカーです。

メーカー 7関連カテゴリ 5

メーカー

7社の主要メーカー

KLA米国

半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。

検査装置
ウェーハ検査システムマスク検査装置
計測装置
CD計測膜厚計測オーバーレイ計測
データ分析
aiSIGHTKlarity
  • 検査・計測装置における世界的リーダー
  • AI・データ分析を統合した先端プロセスコントロール
Onto Innovation米国

Rudolph Technologies と Nanometrics の統合で誕生した検査・計測メーカー。光学検査、膜厚計測、先端パッケージング計測に強み。

ウェハ検査装置
Dragonfly G3
膜厚・オーバーレイ計測
Atlas VFirefly
  • 光学ウェハ検査・膜厚計測で世界有数のポジション
  • 先端パッケージング(FO-WLP・HBM)向け計測ソリューション
日立ハイテク日本

世界をリードする計測・検査技術のパイオニア。電子顕微鏡技術を核とした「見る・測る・分析する」の総合力で、2nm/3nm世代の先端半導体製造をサポート。

検査・計測装置
CD-SEMウェハ検査装置マスク検査装置膜厚計測装置
加工装置
プラズマエッチング装置
分析装置
走査電子顕微鏡(SEM)透過電子顕微鏡(TEM)
  • CD-SEM(測長SEM)で世界シェア約80%を占める圧倒的なポジション
  • 2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠な計測技術を提供
CamtekIL

イスラエル拠点の光学検査装置(AOI)メーカー。先端パッケージング(HBM・FO-WLP)、バンプ検査、2.5D/3D 実装の品質管理で急成長。

光学検査装置
EagleHawk
  • 先端パッケージング AOI で世界的なポジション
  • HBM・FO-WLP・チップレット向けバンプ検査に強み
レーザーテック日本

EUVマスク欠陥検査装置で世界唯一のサプライヤー。半導体・FPD向け検査・計測装置の専業メーカーとして、マスク検査(MATRICS/MAGICS)・ウェーハ検査・膜厚計測装置を展開。

EUVマスク検査
MATRICS(EUVマスク欠陥検査)MAGICS(マスクブランクス検査)
ウェーハ検査
光学式ウェーハ表面検査装置ベアウェーハ検査装置
計測
膜厚計測装置3D形状計測装置
  • EUVマスク欠陥検査装置(MATRICS)で世界シェア100%の独占供給
  • ArF/EUV向けマスクブランクス検査(MAGICS)でも業界標準機を提供
カールツァイス(半導体)ドイツ

ASMLのEUV光学系を独占供給するドイツの精密光学メーカー。EUVリソグラフィ用投影レンズ・照明光学系・ウェーハ検査用電子顕微鏡(ORION)も展開。

EUV光学系
EUV投影レンズ(ASML向け)EUV照明光学系
検査・計測
ORION(イオン顕微鏡)Crossbeam(FIB-SEM)
  • EUV露光装置用投影光学系をASMLに独占供給(戦略的不可欠パートナー)
  • 半導体計測用FIB-SEMシステム(Crossbeam)で業界標準機
東レエンジニアリング日本

東レグループのエンジニアリング会社。半導体分野ではフリップチップボンダなどの実装装置、外観検査装置、塗布装置を供給し、先端パッケージ向けの高精度接合に対応する。

実装装置
フリップチップボンダダイボンダ
検査装置
外観検査装置
  • フリップチップボンダの高精度アライメント
  • 実装装置と検査装置を横断して供給

関連カテゴリ

欠陥検査装置
電子線(EB)検査装置
マスク検査装置
膜厚計測装置
ウェハ検査装置

関連用語

ウェハ検査とは →CD-SEM(臨界寸法計測)とは →オーバーレイ計測とは →膜厚計測とは →欠陥検査とは →マスク検査とは →計測(メトロロジー)とは →OCD(光学的臨界寸法計測)とは →歩留まり管理とは →バーチャルメトロロジーとは →

比較・違いを学ぶ

電子ビーム検査と光学検査の違い(欠陥検査方式の比較)
電子ビーム検査(E-beam Inspection)は電子ビームでウェハを走査し二次電子・反射電子像から欠陥を検出する方式で、数nm級の微小欠陥や配線のオープン
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