カールツァイス(半導体)

ASMLのEUV光学系を独占供給するドイツの精密光学メーカー。EUVリソグラフィ用投影レンズ・照明光学系・ウェーハ検査用電子顕微鏡(ORION)も展開。

ドイツ・装置メーカー・公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

SemiraiのEUV露光装置カテゴリでは、ASMLのEUV投影レンズ・照明光学系を独占供給するEUVリソグラフィのコアパートナーとして参照されます。

企業の強み

EUV露光装置用投影光学系をASMLに独占供給(戦略的不可欠パートナー)
半導体計測用FIB-SEMシステム(Crossbeam)で業界標準機
170年超の精密光学ノウハウを半導体・医療・産業に展開

主要製品・ソリューション

EUV光学系

  • •EUV投影レンズ(ASML向け)
  • •EUV照明光学系

検査・計測

  • •ORION(イオン顕微鏡)
  • •Crossbeam(FIB-SEM)

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