カールツァイス(半導体)
ASMLのEUV光学系を独占供給するドイツの精密光学メーカー。EUVリソグラフィ用投影レンズ・照明光学系・ウェーハ検査用電子顕微鏡(ORION)も展開。
ドイツ・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
SemiraiのEUV露光装置カテゴリでは、ASMLのEUV投影レンズ・照明光学系を独占供給するEUVリソグラフィのコアパートナーとして参照されます。
企業の強み
EUV露光装置用投影光学系をASMLに独占供給(戦略的不可欠パートナー)
半導体計測用FIB-SEMシステム(Crossbeam)で業界標準機
170年超の精密光学ノウハウを半導体・医療・産業に展開
主要製品・ソリューション
EUV光学系
- •EUV投影レンズ(ASML向け)
- •EUV照明光学系
検査・計測
- •ORION(イオン顕微鏡)
- •Crossbeam(FIB-SEM)
カールツァイス(半導体)の製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、カールツァイス(半導体)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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