ボンディング材料メーカー6社
ボンディング材料は、後工程の組立工程においてチップ(ダイ)と基板・リードフレーム、またはチップ間の接合に使用される材料群の総称です。ダイボンドペースト(銀ペースト・エポキシ系)、ダイアタッチフィルム(DAF)、はんだバンプ(Sn-Ag-Cu系)、導電性接着剤、フラックスなどが含まれます。先端パッケージングではハイブリッドボンディング用の銅ダイレクトボンディング材料や、焼結銀・焼結銅(EV用パワーモジュールの高温動作対応)など、新材料の採用が急速に進んでいます。接合材の熱伝導率・電気抵抗・線膨張係数がパッケージの放熱性・信頼性・電気特性を左右し、材料選定が最終製品の品質を決定します。
スペック比較
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| 種類 | メーカー | 製品 | 主要用途 |
|---|---|---|---|
| ダイボンディングフィルム | リンテック | ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム | 積層メモリ・薄型パッケージのダイ接合 |
| 日東電工 | ダイボンディングフィルム(DAF) | 多段積層メモリ・薄型パッケージ | |
| ソルダペースト | 千住金属工業 | 鉛フリーソルダペースト | フリップチップ実装・基板実装 |
ダイボンディングフィルム:2製品の比較
| 項目 | リンテックダイシング・ダイボンディング一体型フィルム | 日東電工ダイボンディングフィルム(DAF) |
|---|---|---|
| 管理指標 | ボイド率・接着強度・フィレット形状 | 厚みばらつき・ボイド・耐リフロー性 |
| 主要用途 | 積層メモリ・薄型パッケージのダイ接合 | 多段積層メモリ・薄型パッケージ |
1製品だけが掲載している項目(6件)
| 構成 | ダイシングテープ+ダイアタッチフィルム(DAF) | — |
|---|---|---|
| 接着層厚みの目安 | 5 ~ 25 µm | — |
| 硬化方式 | 熱硬化(ボンディング後キュア) | — |
| 形態 | — | フィルム状熱硬化型接着材 |
| 厚み精度 | — | ±1 µm 程度(グレードによる) |
| 硬化条件の目安 | — | 120 ~ 180 °C |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム
ダイシングテープとダイアタッチフィルムを一体化した材料。ダイシング後にそのままチップ裏面に接着層が付いてくるため、工程を短縮できる。
| 構成 | ダイシングテープ+ダイアタッチフィルム(DAF) |
| 接着層厚みの目安 | 5 ~ 25 µm |
| 硬化方式 | 熱硬化(ボンディング後キュア) |
| 管理指標 | ボイド率・接着強度・フィレット形状 |
| 主要用途 | 積層メモリ・薄型パッケージのダイ接合 |
ダイボンディングフィルム(DAF)
チップ裏面に貼る熱硬化型の接着フィルム。液状ペーストと違い厚みが安定するので、多段積層でのチップ傾きを抑えられる。
| 形態 | フィルム状熱硬化型接着材 |
| 厚み精度 | ±1 µm 程度(グレードによる) |
| 硬化条件の目安 | 120 ~ 180 °C |
| 管理指標 | 厚みばらつき・ボイド・耐リフロー性 |
| 主要用途 | 多段積層メモリ・薄型パッケージ |
鉛フリーソルダペースト
はんだ粉末とフラックスを混ぜたペースト。印刷性とリフロー後のボイド抑制が実装歩留まりを左右する。
| 組成 | Sn-Ag-Cu 系(鉛フリー) |
| 粉末粒度 | Type 4 ~ Type 6(微細ピッチ対応) |
| 供給方式 | ステンシル印刷・ディスペンス |
| 管理指標 | 印刷抜け性・ボイド率・フラックス残渣 |
| 主要用途 | フリップチップ実装・基板実装 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
6社の主要メーカー
粘着材料の大手。半導体向けには Adwill ブランドのダイシングテープ・バックグラインドテープを展開し、ダイシング時のチップ保持からウェハ薄化時の表面保護、ピックアップ時の剥離までを一貫して担う。テープ貼り付け・剥離装置も自社供給する。
- •Adwill ブランドのダイシング/バックグラインドテープ
- •紫外線硬化型テープによる低ピックアップ荷重
粘着テープ・機能性フィルムの世界大手。半導体後工程では ELEP HOLDER などのダイシングテープ、バックグラインド用表面保護テープ、ダイボンディングフィルムを展開し、薄化ウェハのハンドリングを支える。テープマウンタ・剥離装置も手がける。
- •ELEP シリーズのダイシング/表面保護テープ
- •粘着剤設計による糊残りとチップ飛びの抑制
はんだ材料の国内最大手メーカー。鉛フリーはんだ・フラックス・BGAはんだボールなど、半導体パッケージング全般で使われる接合材料を幅広く供給する。
- •はんだ・フラックスで国内最大手
- •鉛フリーはんだ技術に強み
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア(FOUP)・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
- •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ(CMC Materials統合後)
- •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
SMT(表面実装技術)と半導体パッケージング装置の世界的メーカー。先端パッケージングからSMT製造まで包括的なソリューションを提供。
- •SMTおよび半導体パッケージング装置における総合力
- •先端パッケージング技術(チップレット、ウェーハレベルパッケージング)
オランダを拠点とする半導体組立装置の世界的リーダー。ダイアタッチ装置で42%の市場シェアを持ち、ハイブリッドボンディング技術で業界をリード。
- •ダイアタッチ装置で世界シェア42%のトップポジション
- •ハイブリッドボンディング装置における技術的優位性
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ALD/CVD前駆体材料(プリカーサー)は、原子層堆積(ALD)および化学気相成長(CVD)プロセスにおいて薄膜を形成するための出発原料です。
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メーカー 4 社パッケージ基板(FC-BGA・ABF基板)パッケージ基板は、半導体チップとプリント基板の間に入り、チップの微細な端子ピッチをマザーボード側の粗いピッチへ広げる中継配線板です。
メーカー 6 社ペリクルペリクルは、フォトマスクのパターン面から数mm浮かせて張る薄い透明膜で、異物がパターン面へ直接付着するのを防ぐ防塵カバーです。
メーカー 4 社フォトマスクフォトマスクは、回路パターンを描いた露光用の原版で、露光装置はこのパターンを縮小してウェハ上のレジストに転写します。
メーカー 6 社フォトレジストフォトレジストは、露光工程でマスクの回路パターンをウェハ上に転写するために使用される感光性高分子材料です。
メーカー 6 社プロセス薬液プロセス薬液は、レジストの現像、不要膜の剥離、表面の洗浄といった湿式工程で使われる液体材料のカテゴリです。
メーカー 8 社半導体材料半導体材料は、ウェハ・フォトレジスト・特殊ガス・CMPスラリー・封止樹脂・リードフレーム・ボンディングワイヤなど、半導体製造の各工程で使用される多様な材料群の総称です。
メーカー 10 社はんだ材料(はんだボール・ペースト)はんだ材料は、チップ・パッケージ・基板を電気的かつ機械的に接合するための低融点合金で、半導体ではBGA用のはんだボール、フリップチップ用のマイクロバンプ、実装用のはんだペーストとして使われます。
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メーカー 6 社ウェハ基板材料ウェハ基板材料は、デバイスが作り込まれる土台そのもののカテゴリです。
メーカー 8 社