オリフラ・ノッチ合わせ機メーカー2社
オリフラ・ノッチ合わせ機（ウェハアライナー）は、ウェハ外周のノッチやオリエンテーションフラットを検出し、結晶方位を基準とした所定の角度へ回転させて位置決めする装置です。露光・エッチング・ダイシングはいずれも結晶方位に対する向きが決まっているため、装置へ受け渡す前に必ずこの工程が入ります。ラインセンサでウェハ縁の輪郭を読み取り、中心ずれと回転角を同時に補正するのが一般的で、搬送ロボットやEFEMに組み込まれて使われることが多い機構です。
主要特徴
メーカー
2社の主要メーカー
米国のウェハハンドリング機器メーカー。ノッチアライナー・フラットアライナー・バルクアライナーのほか、ウェハ移載機、真空ピンセット、カセットなどを供給する。
- •ノッチ・オリフラ用アライナーの品揃え
- •手動から自動までのウェハ移載機
半導体ウェハとガラス基板の搬送用ロボットハンドを開発する。極薄ウェハ用のロボットハンドとアライナーチャック、TAIKOウェハ用ハンド、剥離後の薄ウェハを非接触で運ぶ搬送機構などを手がける。
- •極薄・反りウェハの搬送に特化したハンド設計
- •非接触搬送機構の技術と特許
関連カテゴリ
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メーカー 3 社