薬液ポンプ（ベローズポンプ）メーカー2社
薬液ポンプ（ベローズポンプ）は、フッ酸や硫酸過水といった強腐食性の薬液を、金属汚染とパーティクルを持ち込まずに送液するポンプです。液に触れる部分をPTFEなどのフッ素樹脂だけで構成し、ベローズの伸縮で容積を変えて送るため、しゅう動部が液に接しません。回転式ポンプで問題になる摩耗粉の発生とシール部からの漏れを構造的に避けられるのが採用理由で、洗浄装置・現像装置・めっき装置の送液部で標準的に使われています。脈動の少なさも塗布均一性に効きます。
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主要特徴
フッ素樹脂の液接部で強腐食性薬液を金属汚染なく送液する
ベローズの伸縮で送るためしゅう動部が液に触れない
摩耗粉の発生とシール漏れを構造的に回避できる
脈動の少なさが塗布・現像の均一性に効く
メーカー
2社の主要メーカー
イワキ日本
ケミカルポンプと流体制御機器のメーカー。マグネットポンプや定量ポンプに加え、半導体製造プロセスを主用途とする空気駆動ベローズポンプを展開し、自社開発のベローズで長寿命化を図っている。
ポンプ
空気駆動ベローズポンプマグネットポンプ定量ポンプ
システム製品
流量・圧力制御機器冷却装置・温調機器薬液タンク
- •ケミカルポンプの幅広い品揃え
- •半導体プロセス向け空気駆動ベローズポンプ
White Knight Fluid Handling米国
半導体・太陽電池・エレクトロニクス製造向けの高純度流体機器メーカー。ベローズポンプを主力に、ダイヤフラムポンプ、定量ポンプ、純水ヒーター、デバブラー、フィルタハウジング、バルブを手がける。
ポンプ
ベローズポンプダイヤフラムポンプ定量ポンプ
送液周辺機器
純水ヒーターデバブラーフィルタハウジングバルブ
- •高純度ベローズポンプの多系列展開
- •ポンプからヒーター・デバブラーまで送液系を一括供給
関連カテゴリ
チラー・温調機
チラー・温調機は、冷媒や熱媒液を循環させて装置各部の温度を一定に保つユニットです。
メーカー 3 社ディスペンサディスペンサは、接着剤・アンダーフィル材・封止樹脂などの高粘度液体を、指定した位置へ定量吐出する装置です。
メーカー 5 社液・ガス用部品（継手・チューブ）液・ガス用部品は、装置内で薬液・純水・ガスを運ぶバルブ・継手・チューブ・フィルタといった配管部品の総称です。
メーカー 9 社Oリング・シールOリング・シールは、真空チャンバやガス配管の接合部を封止する弾性シール部品です。
メーカー 5 社オゾン水生成装置オゾン水生成装置は、高濃度のオゾンガスを超純水へ溶解させ、洗浄に使えるオゾン水を作る装置です。
メーカー 4 社