DTCO(Design-Technology Co-Optimization:設計與製程協同最佳化)是將半導體製程設計與晶片設計(EDA)同時、反覆進行最佳化的方法。過去是「製程開發→制定設計規則→晶片設計」的單向流程,但在 2nm 以後的先進節點,可製造性、效能、功耗、面積(PPAC)的限制錯綜複雜,若沒有製程與設計的協同,就無法得到最佳解。新思科技、益華電腦的技術平台與 ASML、Applied Materials 等設備企業正共同建構 DTCO 生態系。
DTCO 的具體應用例子之一是元件庫(cell library)最佳化。要縮小標準元件(邏輯閘的基本單位)的高度(cell 高度)(12T→9T→7.5T→6T),必須同時最佳化 Fin・奈米片的間距、接觸窗間隔與金屬導線寬度。DTCO 手法結合 EDA 虛擬設計(Virtual Fabrication)與製程模擬(Sentaurus Process・Victory Process),在試產前推估 PPAC 並確定設計規則。
與 STCO 的差異也很重要。STCO(System-Technology Co-Optimization)是將 DTCO 擴展到系統架構、小晶片切分與封裝技術的概念。在小晶片設計中,「哪個功能要放在哪個製程節點(邏輯 3nm+I/O 22nm+記憶體 HBM)」的判斷要用到 STCO,台積電 N2+CoWoS+HBM4 的組合最佳化就是 STCO 的典型例子。
DTCO 在 2nm 以後變得不可或缺的原因,在於 BEOL 微縮的極限。MOL(Middle of Line)與 BEOL 導線的電阻、電容已決定性地主導功率延遲積,因此導線層數、材料(Cu vs Ru・Mo)、阻障金屬厚度、層間介電層(Low-k)的 k 值,都必須一邊對照設計端的需求與製造端的能力一邊決定。在 DTCO 工具方面,Applied Materials、Lam Research、ASML 各自建置了將其設備特性參數輸入 EDA 的介面。
從市場角度來看,DTCO 帶動了新思科技(Fusion Compiler・PrimeSim)、益華電腦(Innovus・Spectre)等高附加價值 EDA 工具的需求擴大。先進晶圓代工用 DTCO 平台的年度授權費急速上升,預估新思科技與益華電腦的營收在 2025~2026年將各自成長到超過 100億美元的規模。DTCO 重要性的提升促使 EDA 工具市場走向高端化,也成為無晶圓廠設計公司設計成本增加的因素。