反向恢復是指pn接面二極體從順向電流流通的狀態,突然被施加逆向電壓時,會有一段時間反向電流流通的現象。反向電流從開始流通到停止的時間稱為反向恢復時間(trr),期間流過的電荷稱為反向恢復電荷(Qrr),電流峰值稱為反向恢復電流(Irr)。在變頻器或交換式電源這類以高頻開關二極體的電路中,這是損耗與雜訊的主要原因。
發生反向恢復,是因為pn接面二極體在順向導通期間,接面周圍累積了大量少數載子。即使將電壓反向,在累積的載子因復合而消失、或作為反向電流被抽出之前,二極體都無法阻斷電流。這股反向恢復電流也會流入橋式電路中導通側的電晶體,除了二極體本身的損耗外,也會增加對側開關的導通損耗。電流急速停止時,導線的電感會產生電壓突升(突波)與振鈴(ringing),也成為雜訊(EMI)的來源。
對策是使用以鉑或金擴散、電子束或氦照射縮短載子壽命,加快反向恢復的快速恢復二極體(FRD)。讓電流平緩停止的軟恢復特性也很重要。僅以多數載子運作的蕭特基二極體,原理上沒有少數載子累積造成的反向恢復。SiC SBD即使在高耐壓下也幾乎沒有反向恢復,因此能大幅降低變頻器的損耗。MOSFET內建的本體二極體的反向恢復,也是橋式電路設計中需要注意的特性。