范德堡法是只用設置在周邊的4個電極,就能求出任意形狀薄試片之電阻率與霍爾係數的量測手法,由 Leo van der Pauw 於1958年發表。最大的優點是不需要把試片切成特定形狀或量測尺寸,已成為霍爾效應量測的標準量測配置。
成立的條件有4個:試片厚度均勻、為單連通(沒有孔洞)、電極位於試片周邊,以及電極相對於試片尺寸足夠小。在這些條件下,以相鄰4端點量得的2個電阻 R_A、R_B 與片電阻 R_s 之間成立 exp(−πR_A/R_s) + exp(−πR_B/R_s) = 1 的關係,以數值方法求解即可得到 R_s。
若試片對稱,則 R_A = R_B,式子可寫成 R_s = πR_A/ln2 ≒ 4.532·R_A 的封閉形式。這裡出現與四點探針法薄膜用修正係數相同的4.532並非巧合,因為兩者都是由同樣的二維電流分布推導而來。
實務上,為了減少電極有限尺寸造成的誤差,有時會將試片加工成苜蓿葉形(四葉形)或希臘十字形(十字形)。把電極設在細頸的末端,電流分布就不易受電極尺寸干擾。即使是在正方形試片四個角落設置點接觸電極的簡易形式,在多數用途上也能得到足夠的精度。
與四點探針法的分工十分明確。四點探針法只需把探針接觸試片,適合大面積晶圓的面內分布量測(mapping);范德堡法則適合切下的試片的絕對值評估,以及使用相同電極的霍爾量測。研發階段的材料評估主要使用范德堡法,量產線的製程監控則主要使用四點探針法。