最後更新:2026年10月23日封膠設備(Molding)

WCM-330的特點與規格

Apic Yamada・封膠設備(Molding)

以線上(in-line)方式完成晶圓搬入搬出、樹脂供給、封膠與外觀檢查的全自動 WLP 封膠設備。配備專為 WLP 開發的機械式壓機。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

WCM-330 是 Yamaha Robotics(Apic Yamada)的晶圓壓縮成型系統,為適用 FOWLP、FIWLP、eWLB 等晶圓級封裝的全自動成型設備。

可處理 8 吋・12 吋晶圓、φ350mm 的 SUS 載具,以及 320×320mm 的玻璃面板。配備 85 噸壓機,亦支援模封底部填充(MUF)。液態與顆粒樹脂皆可使用,並以上下 FAME(薄膜輔助)與 8 段樹脂流動控制提升成型品質。

與晶圓接觸的部位施有 ESD 防護。晶片計數、外觀檢查、後固化(post cure)與 IP 攝影機為選配。產能在固化 400 秒・點膠 150 秒的條件下約為每小時 14 片,1 次成型處理 1 片晶圓。

主要規格

成型方式壓縮成型(WLP 專用機械式壓機)
適用工件8/12 吋晶圓・SUS 載具(WCM-330 MS)
適用樹脂液態・顆粒膠材
相關機型WCM-330 MS
主要用途FOWLP・FIWLP・EWLP

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

全自動晶圓壓縮成型
85 噸壓機,支援 MUF
液態・顆粒樹脂、上下 FAME、8 段樹脂流動控制
8/12 吋晶圓・SUS 載具・玻璃面板

主要用途

  • FOWLP・FIWLP・eWLB 的樹脂封裝

製造商

Apic Yamada(總部:日本)

所屬設備分類

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資料來源

  1. Apic Yamada 官方產品頁面:WCM-330